所有气体里那几种气体的露点含水量比较低

露点不是气体本身自带的属性！露点只代表里面混进去的水蒸气多少。同样是氩气，做得好可以 - 90℃露点；做得差，露点 - 20℃也很常见。只是惰性高纯气体更容易做到极低含水量（很低露点）。

工业上容易做到【低露点】的几种（常用排序）

1. 氩气 Ar（超纯 6N）：半导体常用，轻松做到 -80 ~ -90℃露点（ppb 级别水），很多高纯工艺优选，水分可以压到低一档

2. 氦气 He（超纯 6N）：也可以做到 - 80℃以下，但是贵，检漏用得多，一般不会用来做吹扫干燥气

3. 氮气 N₂（超纯 6N）：性价比高，常规高纯氮 - 70℃左右，超纯氮可以到 - 80℃，制氢、固化炉、吹扫大量用

4. 氢气 H₂（超纯）：也能做到很低露点，但有防爆风险，测点要选防爆型露点仪

5. 氧气 O₂（高纯）：可以做到 - 70℃左右，比上面几个惰性气略难一点

6. 干燥压缩空气 CDA：常规吸附式干燥机一般 - 40℃，一级 ISO8573 Class1 可以做到 - 70℃，比高纯惰性气上限差一点

❌ 二氧化碳 CO₂：很难做到很低露点，一般也就 - 40~-60℃，不适合超干要求

一张好记的对比（市场常规供货指标，常压露点）

• 超纯氩 / 超纯氦：-80 ~ -90℃（水含量＜0.5ppm，甚至 ppb）

• 超纯氮气：-70 ~ -80℃

• 高纯氢气、高纯氧：-60 ~ -70℃

• 干燥压缩空气：-70℃

• 普通吸干机压缩空气：-40℃