9N:总杂质只有 10ppb,水是其中一项杂质,水分一般控制在 ≤1 ppb (v),对应常压露点大约 -100℃ 左右
6N(99.9999%):水≤0.5 ppmv,露点≤-85℃(国标 GB/T3634.2)
7N(99.99999%):水通常 ≤100 ppb,露点≈-92℃
8N(99.999999%):水≤10 ppb,露点≈-98℃
9N(99.9999999%):水≤1 ppb,露点≈-100℃
⚠️ 关键点:
露点是压力相关! 上面数值是常压(1bar)露点;压力越高,同等水含量,露点越高。
9N 属于半导体特气,不是国标常规分级,国标最高只定义到 6N(99.9999%),9N 指标是 SEMI 半导体行业企业规格。
9N 氢气的水分只是全部杂质里的一部分,其余杂质(O₂、N₂、CO、CO₂等)合计也要控制在 10ppb 以内,水分不一定刚好等于 1ppb。